电子显微分析
SEM/EDS：形貌与成分要联合解释
理解 SE、BSE 与特征 X 射线的相互作用体积、峰重叠和定量边界。
先记住这三点
- 先用形貌与原子序数衬度定位
- 保存束流和几何参数
- 痕量与轻元素需报告检出边界
信号来自不同深度
二次电子偏重表面形貌，背散射电子对平均原子序数敏感，EDS 特征 X 射线来自更大的相互作用体积。三种信号的空间分辨率不能视为相同。
定量并非点一下软件
加速电压、束流、几何、计数统计、峰重叠、吸收和荧光都会影响定量。镀层、倾斜表面和靠近相界的测点尤其需要谨慎。
可复现数据包
保存原始谱、死时间、计数时间、探测器配置和定量模型。元素面分布应同时给出总计数或不确定度，避免用彩色图掩盖低信号。
来源与延伸阅读
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