样品与前置条件
- 制备曲率半径通常为几十纳米的针尖样品
- FIB 定点取样需保留方向、位置和保护层信息
- 对氢、锂和敏感材料规划低温或转移策略
建议工作流
- 用关联显微方法锁定目标区域
- FIB 提取并逐步环形铣削成针
- 选择温度、脉冲模式、探测率和激光能量
- 检查质量谱峰、背景和多重事件
- 记录重建参数并用晶体学或已知界面校验尺度
结果怎么解释
- 等浓度面和一维剖面可描述析出相与界面偏聚
- 团簇分析对参数和随机基准敏感
- 轻元素和同质量峰需要谨慎分峰
局限与常见误区
- 分析体积极小，代表性有限
- 并非所有元素和相都具有相同场蒸发行为
- 针尖制备成功率和数据产额可能限制统计
标准与权威来源
请在正式试验前核对适用产品标准、设备 SOP 和标准的现行版本。