样品与前置条件
- 尺寸、密度和材料组合适合可用能量与探测器
- 样品在扫描期间稳定
- 为定量准备几何标定或参考样
建议工作流
- 根据目标缺陷尺寸选择视场、体素与能量
- 优化投影数、曝光和滤片
- 完成几何校正与重建
- 检查束硬化、环形和运动伪影
- 用敏感性分析确定分割阈值并与金相切片验证
结果怎么解释
- 可用于缺陷体积分数、尺寸、形状和空间分布
- 靠近分辨率极限的孔隙尺寸偏差较大
- 不同材料界面可能因衰减相近而难以分割
局限与常见误区
- 空间分辨率随样品尺寸和密度受限
- 高原子序数或厚样品可能产生严重伪影
- 高分辨扫描体积与时间成本较高
标准与权威来源
请在正式试验前核对适用产品标准、设备 SOP 和标准的现行版本。